臺(tái)式實(shí)時(shí)能譜掃描電鏡集高分辨成像與元素成分分析于一體，憑借體積小巧、操作簡(jiǎn)便、無需復(fù)雜樣品制備等優(yōu)勢(shì)，已廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、電子元器件、地質(zhì)礦產(chǎn)、生物醫(yī)學(xué)及質(zhì)量控制等領(lǐng)域。其核心價(jià)值在于將微觀形貌觀察與元素分布分析同步完成，實(shí)現(xiàn)所見即所測(cè)。臺(tái)式實(shí)時(shí)能譜掃描電鏡性能高度依賴各功能模塊的精密集成，深入理解其組成部件的功能特點(diǎn)，是發(fā)揮設(shè)備效能的關(guān)鍵。一、電子光學(xué)系統(tǒng)電子槍：多采用鎢燈絲或六硼化鑭（LaB...